Principales requisitos de rendimiento de los objetivos de pulverización catódica.
Pureza de los objetivos de pulverización.
La pureza es uno de los principales índices de rendimiento del objetivo, ya que la pureza del material objetivo tiene una gran influencia en el rendimiento de la película. Sin embargo, en aplicaciones prácticas, los requisitos de pureza de los materiales objetivo también son diferentes.
Contenido de impurezas de los objetivos de pulverización.
Las impurezas en el sólido y el oxígeno y el vapor de agua en los poros son las fuentes principales de las películas depositadas. Diferentes objetivos tienen diferentes requisitos para diferentes contenidos de impureza. Por ejemplo, los objetivos de aluminio puro y de aleación de aluminio utilizados en la industria de semiconductores tienen requisitos especiales para el contenido de metales alcalinos y elementos radiactivos.
Densidad de objetivos de pulverización
Para reducir la porosidad en el sólido del objetivo y mejorar el rendimiento de la película pulverizada, generalmente se requiere que el objetivo tenga una alta densidad. La densidad del objetivo no solo afecta la tasa de pulverización, sino que también afecta las propiedades eléctricas y ópticas de las películas. Cuanto mayor sea la densidad objetivo, mejor será el rendimiento de la película. Además, aumentar la densidad y la fuerza del objetivo permitirá al objetivo soportar mejor la tensión térmica durante la pulverización. La densidad es también uno de los indicadores clave de rendimiento de los objetivos.
Tamaño de grano y distribución del tamaño de grano de los objetivos de pulverización catódica
Generalmente, el objetivo es una estructura policristalina, y el tamaño del grano puede ser de micras a milímetro. Para el mismo objetivo, la velocidad de pulverización del blanco con grano fino es más rápida que la del blanco con grano grueso, y la distribución del espesor de la película depositada por el blanco con una pequeña diferencia de tamaño de grano (distribución uniforme) es más uniforme.
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