¿Entiendes Supttering Target? Conocimiento - Xi'an Econ Industrial Corp.

¿Entiendes Supttering Target?

Principales requisitos de rendimiento del material de Supttering Target:

Pureza
La pureza es uno de los principales indicadores de rendimiento del material objetivo de supttering, porque la pureza del material objetivo tiene una gran influencia en el rendimiento de la película. Sin embargo, en aplicaciones prácticas, los requisitos de pureza de los materiales objetivo son diferentes.
Contenido de impurezas
Las impurezas en los sólidos objetivo y el oxígeno y el agua en los estomas son las principales fuentes de contaminación de las películas delgadas depositadas. Los objetivos para diferentes propósitos tienen diferentes requisitos para diferentes contenidos de impurezas. Por ejemplo, los objetivos de aluminio puro y aleación de aluminio utilizados en la industria de semiconductores tienen requisitos especiales para el contenido de metales alcalinos y elementos radiactivos.
Densidad
Para reducir la porosidad en el sólido del blanco y mejorar el rendimiento de la película pulverizada, generalmente se requiere que el blanco tenga una alta densidad. La densidad objetivo no solo afecta la tasa de pulverización catódica, sino que también afecta las propiedades eléctricas y ópticas de las películas. Cuanto mayor sea la densidad objetivo, mejores serán las propiedades de las películas. Además, aumentar la densidad y la fuerza del objetivo puede hacer que el objetivo resista mejor el estrés térmico en el proceso de pulverización catódica. La densidad es también uno de los indicadores clave de rendimiento de los materiales objetivo.
Tamaño de grano y distribución de tamaño de grano
Por lo general, el material objetivo es policristalino, y el tamaño de grano puede variar de micras a milímetros. Para el mismo objetivo, la velocidad de pulverización del objetivo con grano fino es más rápida que la del objetivo con grano grueso, y la distribución del espesor de la película depositada por el objetivo con una pequeña diferencia de tamaño de grano (distribución uniforme) es más uniforme.

Nuestra empresa tiene muchos años de experiencia en la producción y venta de objetivos de molibdeno, objetivos de titanio, objetivos de tantalio y objetivos de niobio, y ha sido muy elogiada por clientes europeos y estadounidenses.

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